半導体とエレクトロニクス

 

磁気駆動ポンプは、ウエハのウェット エッチング、洗浄および剥離プロセス、超純水（UPW）供給システム、化学分配システム（CDS）、廃ガス洗浄、廃水処理、特殊ガス吸収システムなどに広く導入されており、硫酸、硝酸、フッ化水素酸、水酸化アンモニウム、フォトレジスト、CMP スラリーなどの高純度で複雑な媒体を確実に搬送します。{{1}

厳格なプロセス仕様により、現場での作業は通常、媒体汚染の高いリスク、不十分な移送安定性、腐食性の高い流体との適合性の悪さ、高額なメンテナンス費用、大幅なダウンタイム損失、厳格な防爆および安全性コンプライアンスの圧力、清浄度管理の難しさなど、重大な課題に直面しています。-

これらの問題点に対処するため、Shaanxi Hono Electronic Technology Co., Ltd. は、完全フッ素化または高純度非金属磁気駆動ポンプを採用しています。これにより、超純水、高純度化学物質、腐食性の高い酸やアルカリ、粒子を含むスラリーなどの多様な作業条件に対応できます。-当社は、シングルポンプ / 冗長ポンプ + プロセス配管 + 制御ユニット + 安全アクセサリで構成されるモジュラーシステムアーキテクチャを設計しています。ポンプに組み込まれた基本制御と PLC 制御システムをリンクし、可変周波数速度調整、自動故障診断および保護機能を搭載することで、システムは正確な流量および圧力制御と安定した動作を実現します。また、プライマリポンプとスタンバイポンプ間の自動切り替えもサポートしており、生産ラインの中断のない稼働を保証します。

 

 

• 漏れがなく、高い清浄度で媒体汚染のリスクを排除します。
• 優れた耐食性、全範囲のプロセス化学薬品と互換性があります。-
• 継続的な生産プロセスを保証する高い動作安定性。
• メンテナンス要件が低くなり、生産停止のリスクが軽減されます。
• 安全性を完全に遵守し、工場の防爆基準と環境保護基準を満たしています。{0}
• ファクトリー オートメーション仕様に適合するフルプロセス統合サービス。-

 

 

1. カスタムシングルポンプソリューション:媒体の特性とプロセスパラメータに基づいてポンプモデルと接液材料をカスタマイズします。

2. 制御キャビネットの統合:周波数変換制御、故障警報、データ収集、リモート通信モジュールを統合したカスタム防爆{0}およびクリーン-タイプの制御キャビネット。

3. 配管設計と最適化:半導体クリーン-グレードの配管設計（PFA / 高純度 EP ステンレス鋼）、最適化されたパイプラインのルーティングとバルブ構成。-

4. 自動化の統合と試運転:工場既存のDCS/PLCシステムとシームレスに接続し、ポンプユニットとプロセス機器の連携制御を実現します。 -システムが厳しい清浄性と安定性の要件を満たしていることを確認するために、オンサイト設置ガイダンス、試運転、検証サービスが提供されます。

 

プロジェクトの要件について話し合い、見積もりを取得するには、当社のエンジニアにご相談ください。電子メールでお問い合わせください。liuziyan@sxhono.com.cn.